TF inline在線監(jiān)測 OEM集成方案非接觸式掃描測試
- TF inline 系列用于過程控制的非接觸式薄層電阻、層厚度和電各向異性測量解決方案，如金屬層的厚度，片電阻，發(fā)射率，殘留水分或克在各種基材上的非接觸。相關基材是玻璃、箔、紙、晶片、塑料或陶瓷。監(jiān)測是通過永久測量或觸發(fā)事件來完成的，以便在快速移動的涂層過程中獲得等距的結果。監(jiān)測解決方案可以在大氣或真空條件下實施。使用渦流技術的過程受益于高采樣率?？梢允褂每蛻舻能浖檫^程控制系統(tǒng)提供測量結果。此外，SURAGUS 提供監(jiān)控軟件 EddyCus EC Control，可對計量數(shù)據(jù)進行可視化、存儲和分析。
- 優(yōu)勢
- 應用
- 設置
- 特征
- 傳感器外形尺寸（所有測量類型）
- 接線設置
- 電阻測試儀參數(shù)
- 測量技術
- 非接觸式渦流傳感器
- 基材
- 晶錠、錠、晶片、箔、玻璃等。
- 測量間隙尺寸
- 3 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 毫米（其他應要求提供）
- 傳感器對數(shù)/監(jiān)控通道
- 1 – 99
- 傳感器尺寸（寬 x 長 x 高），單位為 mm
- 傳感器 M：80 x 100 x 66 傳感器 S：34 x 48 x 117
- 導電層
- 金屬/TCOs/CNTs/納米線/石墨烯/網(wǎng)格/PEDOT/其他
- 金屬薄膜的厚度測量（例如鋁、銀、鉬、銀漿）
- 1 nm – 2 mm（根據(jù)薄層電阻）
- 其他綜合測量
- 金屬厚度/透光率/密度/各向異性
- 環(huán)境
- Ex-vacuo / in-vacuo @ T < 60°C / 140°F（根據(jù)要求更高）
- 采樣率
- 每秒 1 / 10 / 50 / 100 / 1,000 次測量
- 硬件觸發(fā)
- 5 / 12 / 24 伏
- 接口
- UDP、.Net 庫、TCP、Modbus、模擬/數(shù)字
- VLSR
- LSR
- MSR
- HSR
- 范圍 [歐姆/平方]
- 0.0001 – 0.1
- 0.01 – 10
- 0.1 – 100
- 10 – 2,000
- 精度/偏差
- ± 1%
- ± 1 – 3%
- 重復性 (2σ)
- < 0.3%
- < 0.5%
- VLSR - 極低薄層電阻，LSR - 低薄層電阻，MSR - 中等薄層電阻，HSR - 高薄層電阻，VHSR - 極高薄層電阻
- 流程
- 工作環(huán)境
- 接口
- TCP、UDP
- Modbus
- CSV、XML
- 模擬、數(shù)字
- 以太網(wǎng)
-
-
-
非接觸式實時測量
測量速度高達 1,000 次測量/秒。
固定式傳感器安裝或橫向傳感器安裝
每個系統(tǒng)集成 1 – 99 個監(jiān)控通道
在大氣或真空中進行過程控制
在許多應用中都可以非?？拷暹吘夁M行測量
在不斷變化的環(huán)境中通過溫度補償測量實現(xiàn)長期穩(wěn)定性
到測試材料的大距離（例如 60 毫米/2.4 英寸的間隙）
覆蓋導電層或封裝基板的表征
眾多軟件集成分析統(tǒng)計功能
通過 EddyCus RampUp 軟件輕松設置，包括。系統(tǒng)校準向?qū)?/span>
無磨損
建筑玻璃（LowE）
包裝材料
顯示器和觸摸屏
光伏（薄膜和 c-Si）
鏡面鍍膜
電容器
OLED 和 LED
智能玻璃
金屬層和晶圓金屬化
除冰和加熱
電池和燃料電池
涂布紙和導電紡織品
石墨烯層
抗菌涂料
Inline R2R
Inline S2S
集群工具
集成到處理區(qū)域
傳輸和反射設置
薄層電阻：0.1 mOhm/sq 到 1 kOhm/sq
金屬厚度：2 nm – 2 mm（取決于材料導電性）
電阻率：0.1 mOhm cm – 5 ohm cm
殘留水分（通過非接觸式介電常數(shù)測量在濕層中測量）
電各向異性：0.33 至 3（可根據(jù)要求提高）
相關屬性
克重：0.1 至 1,000 克/平方米
發(fā)射率：0.005 至 0.2
傳感器 S（多種選擇）
傳感器 S - 半真空（僅限真空）
傳感器 M
傳感器 XS
定制形式（多傳感器）
靠近傳感器位置的控制柜安裝
直接安裝工具安裝在傳感器位置附近
全傳感器集成硬件
沉積（PVD、ALD、（PE）CVD、電鍍、印刷、噴涂等）
燒蝕/結構化（蝕刻、拋光、激光等）
摻雜/植入
回火/退火
干燥/加熱
大氣層
真空
防爆認證
可應要求提供高溫版本
